Wasserdampf ist eine entscheidende Komponente in Ofenatmosphären und Einsatzgas und beeinflusst die Chemie zwischen dem Gas und den metallischen Teilen im Prozess.
Aufgrund der großen Vielfalt der Prozesse zur Wärmebehandlung können die angestrebten Taupunkttemperaturen zwischen –60°C und +35°C oder sogar noch höher liegen. Wegen der mit einer Wärmebehandlung in der Regel verbundenen extrem hohen Prozesstemperaturen im Ofen wird normalerweise ein Probenahmesystem bzw. eine Leitung vom Ofen zur Taupunktsonde benötigt, um das Prozessgas vor dem Erreichen des Sensors zu kühlen.