Skip Ribbon Commands
Skip to main content

Messung und Überwachung in Halbleiter-Werkzeugen

Präzise und stabile Messgeräte ermöglichen eine strenge Kontrolle der Mikroumgebung von Halbleiterwerkzeugen.

Vaisala bietet kompakte OEM-Module für relative Feuchte und Luftdruck.

Semiconductor tool manufacturing, monitoring while manufacturing semiconductor tools, microenvironment monitoring systems from Vaisala.
    Empfohlene Produkte